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    首頁 工程案例 工藝標準

    工藝標準

    2022-04-26
    共有3132家企業看過
           在現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB?50073-2001中等同采用國際標準《潔凈室及相關受控環境第一篇》ISO?14644-1中有關潔凈室及相關受控環境空氣中懸浮粒子潔凈度級別劃分。
           電子產品的種類繁多,隨著微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠的電子產品品種的增加,需要在空氣懸浮粒子受控環境中進行全過程生產或部分生產的電子產品主要有:各種半導體材料及其器件生產、集成電路生產、化合物半導體生產、光電子生產、薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liguid?Crystal?Display,簡稱TFT-LCD)生產、微硬盤驅動器(Hard?Disk?Driver,簡稱HDD)生產、等離子顯示器(Plasma?Display?Panel,簡稱PDP)生產、磁頭和磁帶生產、光導纖維生產、印制電路板等。
           各類產品的品種不同、生產工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級也不相同。因此第3.2.2條規定各種電子產品用潔凈廠房設計時,生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定;當在設計時,業主或發包方未提出要求或暫時未提出要求時,可參照本規范附錄A的要求確定。在附錄A所列要求中,由于各種產品生產工藝都各不相同,所以對于空氣潔凈度等級、控制粒徑均列出一定的范圍供參考,為說明這些差異,下面列舉一些工程的實例供參考。
           表4~表6分別列出8″和4″、5″硅單晶及硅片加工、集成電路的芯片制造、TFT-LCD生產所需的空氣潔凈度等級、溫度、濕度的實例。

    1、微硬盤驅動器(HDD)生產用潔凈廠房濺射生產區4級:

                             組裝、測試等6級

    2、高密度磁盤生產用潔凈廠房

    3、表7、表8分別列出彩色顯像管生產、光導纖維生產所需的空氣潔凈度等級、溫度、濕度的實例。

           4、磁頭生產用潔凈廠房:磁頭裝配、濺射燒結等要求4級(0.1μm),研磨、檢測等要求5級(0.1μm),切割等要求6級。
           5、印制電路板生產用潔凈廠房:6.5級、24±2℃、65%±5%。
           6、鋰電池生產的干作業潔凈生產區:6級、23℃,露點(DP)-30℃;組裝、測試潔凈室(區):7級、23±2℃、≈20%。
           7、等離子顯示器(PDP)生產用潔凈廠房:涂屏間等:5.5級、25±2℃,50%±10%;其他生產間:6.5~8級、20~26℃、55%±10%。
           現代電子產品生產的重要特點之一,在許多電子產品的生產過程中需使用高純水、高純氣體和高純化學品,且各類電子產品生產時,因品種不同、產品生產工藝也不同,對高純物質的純度、雜質含量的要求不同,它們之間差異很大。表9是中國電子級水的技術指標,表10是美國ASTMD5127電子及半導體工業用純水的水質要求,表11是TFT-LCD生產用純水水質要求,表12是一個8″集成電路芯片制造用高純水水質要求。


           近年來,對一些電子工廠的潔凈室(區)內的噪聲級(空態)的檢測資料表明,大部分單向流潔凈室(區)內的噪聲均可小于65dB(A)也有少數潔凈室(區),由于各種原因,實際檢測的噪聲超過65dB(A)。非單向流潔凈室(區)內的噪聲大部分可小于60dB(A)。表16是部分電子工廠潔凈室(區)內噪聲的檢測數據。

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